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94、磁控溅射沉积中为什么会出现“拉弧”?

2019-02-15

答:主要原因是堆积在靶面化合物膜层上的正离子以及堆积在阳极表面绝缘层上的电子产生强电场,最终因强电场击穿而引发弧光放电。

 


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