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92、在靶中毒的情况下,沉积速率和反应气体流量为什么会出现迟滞现象?

2019-02-15

答:当反应气体流量超过一定数量时,溅射进入反应模式,溅射速率明显下降。而减少反应气体流量至原反转点时,反应模式并不返回到原溅射速率较高的金属模式,而是继续减少到一定数量时,才会发生反转,这一现象称为迟滞现象。其产生原因是因为整个沉积装置具有吸纳气体的能力,即贮存气体的作用。充入的气体量大,贮存就多。当减少反应气体流量时,这部分气体将释放出来。因此,会延缓反应分压的下降过程,表现为上述的迟滞现象。

 



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