咨询电话:

17351246609

苏州摩星真空科技有限公司
苏州摩星真空科技有限公司
苏州摩星真空科技有限公司

真空园地

联系我们

全国服务热线:

0512-53593829

苏州摩星真空科技有限公司

传真:0512-53593829

网址:www.bdtouzi.com

技术咨询:15919495436

销售咨询:17351246609

地址:江苏省太仓市青岛西路38号

当前位置: 首 页 > 技术热点 > 真空问答

92、在靶中毒的情况下,沉积速率和反应气体流量为什么会出现迟滞现象?

2019-02-15

答:当反应气体流量超过一定数量时,溅射进入反应模式,溅射速率明显下降。而减少反应气体流量至原反转点时,反应模式并不返回到原溅射速率较高的金属模式,而是继续减少到一定数量时,才会发生反转,这一现象称为迟滞现象。其产生原因是因为整个沉积装置具有吸纳气体的能力,即贮存气体的作用。充入的气体量大,贮存就多。当减少反应气体流量时,这部分气体将释放出来。因此,会延缓反应分压的下降过程,表现为上述的迟滞现象。

 



标签

最近浏览:

咨询热线:17351246609

永乐国际官方网站官网 http://www.min00hua.com http://www.koyamadai-sb.com http://www.combinol.com http://www.jianhongyw.com http://www.hzxuande.com.cn http://www.akjmusic.com http://avtotrack-comers.com http://tmemusicgroup.com http://techluminati.com http://www.ldlady168.com http://www.cq-xh.com http://www.hxytedu.com http://traductiongaston.com http://comsegmat.com http://www.t400-mall.com http://www.nikkeitoushi.com http://www.spirit-1.com http://www.inzor188.com http://crushtechmining.com http://www.cdtwlw.com http://www.yindunmuye.com http://www.juxin6688.com http://www.eisen-schmitt.com http://www.6683978.com http://magazinemedico.com http://www.szleyy.com http://www.lyybhnt.com http://www.jsqc815.com http://www.ht0412.com http://www.yy-wx.com