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91、为什么反应溅射沉积速率低?

2019-02-15

答:在反应溅射时,反应气体会与靶材反应生成化合物,而化合物的溅射率低于原靶材的溅射率。另一方面,化合物的二次电子发射能力强,增大的二次电子发射将降低靶电压,从而影响溅射速率。还有,反应气体亦参与溅射,而其溅射能力欠于Ar气。由于以上原因造成反应溅射沉积速率低。

 



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