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90、什么是靶中毒?

2019-02-15

答:在反应沉积时,由于反应气体可在靶面形成一层绝缘的化合物膜层,使碰撞上去的离子无法进入阴极,而堆积在绝缘层上。如此,靶面上将形成逐步升高的正电位。若电源输出电压稳定,则阴极位降区的压降将越来越小,直到靶面电位升到与等离子体电位相同时放电的本征区域阴极位降区消失,放电停止。有将上述这种极端情况称为“靶中毒“,而更普遍的是将这一概念用于靶面在反应溅射时逐步形成低溅射率的化合物膜层的过程。

 



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