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81、磁控溅射的特点是什么?

2019-02-15

答:由于正交的磁场有效的地将电子束缚在靶面附近运动,大大提高了电子的电离能力,所以磁控溅射可以在较低的放电电压,在较低的压力下,大大提高沉积速率。同时约束了电子对基体的轰击升温的作用。


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