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(二)分子增压泵的应用

2018-12-05

分子增压泵在真空技术中的应用

分子增压泵是一种基于全拖动原理的新型高真空泵,它的特点是清洁、节能、超强的中真空抽气能力。这些特点使其能开拓全新的应用领域,并使传统的应用领域面貌一新,本文对该泵的特点作了简单的分析介绍,并将真空物理气相沉积技术作为典型的应用作了较详细的讨论,围绕机组配置、抽气工艺、沉积工艺生动地展示分子增压泵在真空镀膜技术中如何实现清洁真空、抑制活性气体、改善沉积条件提高膜层质量。文中内容给出了下列问题的答案:

 1、  为什么分子增压泵机组有显著的节能效果?

2、  分子增压泵机组如何实现清洁真空?

3、  为什么分子增压泵二级高真空机组不再需要罗茨泵?

4、  如何评估分子增压泵取代罗茨泵的前景?

5、  为什么本底压强不是磁控溅射镀膜精抽阶段的叛据?

6、  决定真空室放气的主要因素是什么?

7、  为什么磁控溅射镀膜中节流是一种无奈之举?

8、  在溅射沉积阶段要不要采用节流措施?

9、  溅射沉积阶段真空环境质量应如何评估?

10、如何改善磁控溅射过程中工作气体和反应气体的空间均匀性?

11、为什么在溅射镀膜阶段分子增压泵抽气比扩散泵和涡轮分子泵稳定?

12、为什么分子增压泵能拓广工艺范围?


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分子增压泵在真空技术中的应用.doc



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