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(七)一种新颖的抽气方法

2018-12-05

一种新颖的抽气方法

龚建华   储继国

 一个真空系统从大气开始抽气,首先抽除的是空间气体,并且遵从2.3 (为系统的时间常数)时间压力降低一个数量级的规律。空间气体量随着压力降低而减少。当压力进入10-1Pa量级特别是5×10-1Pa以后,真空室内器壁表面以及工件表面释放的气体量甚至超过原空间的气体量而成为主要的气体负载,因此,压力的降低或真空度的提高变为缓慢。伴随着这一变化,真空室内气体的成分亦在发生变化。真空室内放出的气体来自表面在大气压下吸附的气体,由于吸附的选择性,其中绝大部分是活性气体,更以水蒸汽为主。所以随着抽气的过程,室内水蒸汽的含量越来越多,其分压所占的比例也越来越高。相关的质谱资料也确切地证明了这一点。这意味着当真空系统进入高真空的抽气过程中,主要抽除的是水蒸汽,而其它永久性气体仅占很小的比例。然而传统的高真空泵——扩散泵和涡轮分子泵抽除水蒸汽和永久性气体基本没有什么差别,甚至抽除水蒸汽的能力更差一些。如果此时有一种对水蒸汽有超强抽气能力的泵参与抽气,则可大大减少原真空机组的抽气负荷,并显著提高抽气的效率。



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