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(九)新一代磁控溅射的真空机组

2018-12-05

新一代磁控溅射和阴极电弧离子镀设备的真空机组

 龚建华     储继国

所谓真空是低于当地大气压的气体状态。真空的度量借用了压力的概念,压力越低,真空度越高。因此压力是反映了真空的数量。尽管有没有数量便没有质量这一说法,然而真空的质量并不全用压力的大小来表征。因为本来不同的真空应用要求的压力大小就是不一样的,所以真空的质量往往更注重残气的成份,也就是某些成份的分压的大小。当然不同的应用场合对分压强的要求也是不同的,而对于溅射镀膜来讲,尽量低的油蒸汽分压和尽量低的水蒸汽分压是绝对需要的。无油无水是很多真空应用所苛求的境界,溅射镀膜也不例外。




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